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鐳射調阻技術(鐳射微調、鐳射調值)

20世紀60年代初雷射器問世一來,經過20多年的發展,現已成為一種非常成熟的技術,廣泛用於混合電路製造業。國內外不少混合電路廠家都採用鐳射調阻工藝。與其他調阻技術相比,鐳射調阻的精度高,效率高。

現代雷射技術是製造高性能混合電路的重要手段。現代鐳射調阻技術不僅能對厚膜基片進行調阻,而且能對組裝後的混合積體電路進行微調,保證電路的功能。隨著混合電路向高性能、高可靠和高密度發展,鐳射調阻技術在混合電路製造中的作用日益突出。

鐳射調阻機是一種精密的鐳射微調設備,它通過短脈衝鐳射掃描切割,改變電阻體的導電截面積,達到把低於目標阻值的電阻體修調到阻值允許的偏差範圍內,適用於片狀電阻的快速大規模生產。它的主要構成為:一台輸出脈衝頻率可調的調Q脈衝Nd:YAG雷射器,輸出波長為1.06μm鐳射,經兩軸偏轉後,由光學系統彙聚成25μm直徑的光點,照射到載臺上的片式電阻基片上。基片電阻漿料層受鐳射加熱氣化,形成一定深度的刻痕,從而改變了電阻體的導電截面積和導電長度。高速高精度線上電阻測量系統,測量電阻器的阻值,當阻值達到標稱值時,由電控開關關斷鐳射,完成此片式電阻的修整過程,全過程用時5-20ms。由一台X-Y方向鐳射掃描振鏡完成一行電阻器的修調。然後,運動控制系統驅動載片台向前運動一個行距的位置,重複上述過程完成第二行調阻,依此類推,直至調完一片。所有上述工作在一台電腦統一控制下,協調高效地進行。

鐳射精密加工在諸如薄膜電路的功能微調、壓電石英諧振腔和單層濾波器的微調、光掩膜的修正、具有分佈參數的超高頻電路的微調、光學度盤和分劃板的刻制等工業領域將得到越來越廣泛的應用。


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